Front Open Unit Pod
300mm FOUP 前開式晶圓傳送盒/ 晶圓傳輸盒，可保護、運送、並儲存300mm晶圓，在運輸傳載及儲存時提供安全防護。有效降低晶圓受到微塵汙染的風險，避免晶圓受靜電損害，進而促進良率。支援AMHS功能，尺寸符合SEMI規範，並提供高潔淨度之晶圓承載與自動化解決方案。
| 12吋 FOUP 前開式晶圓傳輸盒 款式對照 | |||||||
| 製程 | 產品編碼 | 材質 | 耐溫度 | 窗型 | 容量 | 支撐架 | 排氣孔 間距 |
| 一般製程 | CK300ST | PC | ≤80°C | 橘透窗 | 25 pcs | L+R 一般款 |
250mm |